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发明名称 FINE PATTERN FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH06267842(A) 申请公布日期 1994.09.22
申请号 JP19930051880 申请日期 1993.03.12
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HASHIMOTO KAZUHIKO
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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