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发明名称 ETCHING
摘要
申请公布号 JPH06267906(A) 申请公布日期 1994.09.22
申请号 JP19930056697 申请日期 1993.03.17
申请人 NEC CORP 发明人 SHIRAISHI HITOSHI;KANEKO SETSUO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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