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发明名称 Maskenkorrektur.
摘要
申请公布号 DE3851122(D1) 申请公布日期 1994.09.22
申请号 DE19883851122 申请日期 1988.11.03
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH CO., NEW YORK, N.Y., US 发明人 HARRIOTT, LLOYD RICHARD, SOMERVILLE NEW JERSEY 08876, US;VASILE, MICHAEL JOSEPH ROBERT, NORTH PLAINFIELD NEW JERSEY 07060, US
分类号 G03F1/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F1/00 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
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