发明名称 Atomarer Kräftesensor mit interferometrischer Messung der Eigenschaften eines Datenträgers.
摘要
申请公布号 DE3750406(D1) 申请公布日期 1994.09.22
申请号 DE19873750406 申请日期 1987.05.12
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 POHL, WOLFGANG DIETER, DR., CH-8134 ADLISWIL, CH
分类号 G01B7/34;G01B11/30;G01B21/30;G01D5/26;G01L1/08;G01N23/00;G01N37/00;G01Q20/02;G01Q60/38;G01R33/038;G11B9/00;G11B9/14;G11B11/00;G11B11/10;G11B17/32;(IPC1-7):G01B11/30;G11B11/08 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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