发明名称 Verfahren zur Herstellung von elektronischen und optischen Komponenten.
摘要
申请公布号 DE69011567(D1) 申请公布日期 1994.09.22
申请号 DE19906011567 申请日期 1990.04.09
申请人 AT & T CORP., NEW YORK, N.Y., US 发明人 CADET, GARDY, NEWARK, NEW JERSEY 07106, US;MITCHELL, JAMES WINFIELD, SOMERSET, NEW JERSEY 08873, US;VALDES, JORGE LUIS, BEDMINSTER, NEW JERSEY 07921, US
分类号 C30B25/14;C23C16/448;C25B1/00;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
地址