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发明名称 EVAPORATION APPARATUS FOR LIQUID RAW MATERIAL
摘要
申请公布号 JPH06267852(A) 申请公布日期 1994.09.22
申请号 JP19930051123 申请日期 1993.03.12
申请人 HITACHI LTD;HITACHI ELECTRON ENG CO LTD;HITACHI METALS LTD 发明人 MATSUBARA SUNAO;UCHIYAMA TARO;SUZUKI SHINPEI;TANIGUCHI KAZUO;KAZAMA YOICHIRO;MORI MASAHIRO;ISHIKAWA MAKOTO
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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