发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06268324(A) 申请公布日期 1994.09.22
申请号 JP19930054379 申请日期 1993.03.15
申请人 SHARP CORP 发明人 HOSODA MASAHIRO;TSUNODA ATSUISA
分类号 H01S5/00;H01S5/323;(IPC1-7):H01S3/18 主分类号 H01S5/00
代理机构 代理人
主权项
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