| 发明名称 |
STRUCTURE AND MANUFACTURE OF INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06268161(A) |
申请公布日期 |
1994.09.22 |
| 申请号 |
JP19910094663 |
申请日期 |
1991.01.29 |
| 申请人 |
UTAKA MASATOSHI |
发明人 |
KAWAKAMI HIROKI;UTAKA MASATOSHI |
| 分类号 |
H01L27/082;H01L21/331;H01L21/8226;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L27/082 |
主分类号 |
H01L27/082 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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