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发明名称 MANUFACTURE OF MULTILAYERED SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06267969(A) 申请公布日期 1994.09.22
申请号 JP19930056621 申请日期 1993.03.17
申请人 FUJITSU LTD 发明人 IWAI DAISUKE
分类号 H01L29/205;H01L21/331;H01L29/73;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/205
代理机构 代理人
主权项
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