| 发明名称 |
INSPECTION METHOD OF OPTICAL MATERIAL FOR KRF EXCIMER LASER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06265470(A) |
申请公布日期 |
1994.09.22 |
| 申请号 |
JP19930077488 |
申请日期 |
1993.03.12 |
| 申请人 |
NIPPON SEKIEI GLASS KK;YAMAGUCHI NIPPON SEKIEI KK |
发明人 |
KUZUU SHIN;KUNO KENICHI |
| 分类号 |
G01M11/00;G01N21/33;G01N33/38;(IPC1-7):G01N21/33 |
主分类号 |
G01M11/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
