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发明名称 HEAT TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06267877(A) 申请公布日期 1994.09.22
申请号 JP19930053533 申请日期 1993.03.15
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 HASEBE TADAYOSHI;KATO HIDEAKI
分类号 H01L21/22;H01L21/26;H01L21/31;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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