| 主权项 |
1.一种物体浮扬装置,具有振动体及激振该振动体 之超音 波激振机构,藉该振动体之音波之发射压使物体浮 扬在该 振动体之表面来构成者。2.如申请专利范围第1项 之物体浮扬装置,其中振动体乃 进行挠曲振动或纵振动。3.如申请专利范围第1或2 项之物体浮扬装置,其中振动 体乃形成平板状。4.一种物体搬运装置,具有振动 体,激振该振动体之超音 波激振机构,及使该振动体行走之行走机构,藉该 振动体 之音波之发射压使物体浮扬在该振动体之表面上 而行走所 构成者。5.如申请专利范围第4项之物体搬运装置, 其中振动体乃 其表面对假想水平面倾斜而设,而由于此倾斜使上 述物体 行走。6.如申请专利范围第4项之物体搬运装置,其 中行走机构 乃对上述物体喷射气体之气体喷射机构。7.如申 请专利范围第5项之物体搬运装置,其中行走机构 乃对上述物体喷射气体之气体喷射机构。8.如申 请专利范围第4-7项中任一项之物体搬运装置, 其中行走机构具有对上述物体发射超音波之超音 波发射机 构。9.如申请专利范围第4-7项中任一项之物体搬 运装置, 其中行走机构具有将从上述振动体发射之超音波 向上述物 体反射之反射另件。10.如申请专利范围第4-7项中 任一项之物体搬运装置 ,其中行走机构具有藉将上述超音波激振机构所发 出之超 音波能量变换为电能来将该超音波成为使上述物 体向移动 方向进行之进行波之能量变换机构。11.如申请专 利范围第4-7项中任一项之物体搬运装置 ,其中物体令其行走方向侧与其反向侧重量分配不 同,更 以从上述振动体发射而在该物体之下面反射之反 射波之推 进力来使该物体行走。12.如申请专利范围第4-7项 中任一项之物体搬运装置 ,其中物体在下面形成凹凸,藉从上述振动体发射 而由凹 凸反射之反射波之推进力来使该动体行走。13.如 申请专利范围第4-7项中任一项之物体搬运装置 ,其中沿该物体搬运路两侧配置音波反射另件,藉 从上述 振动体发射而由该音波反射另件反射之音波来防 止该物体 从该搬运路脱离。14.如申请专利范围第4-7项中任 一项之物体搬运装置 ,其中将防止该物体从搬运路脱离之防止脱离另件 与该振 动体间隔而设。15.如申请专利范围第4-7项中任一 项之物体搬运装置 ,其中物体之搬运路连续地并设多数台。16.一种物 体浮扬方法,其特征为激振振动体,藉该振动 体之音波发射压使物体浮扬在该振动体之表面上 。图1为 本发明第1实施例之物体搬运装置之含部分断面之 正面图 。图2为图1所示物体搬运装置之平面图。图3为图1 之 D-D剖视图。图4为图1中部分E之放大图。图5为由图 1-3物体搬运装置搬运之物体之其他构成之图。图6 为 图1-3物体搬运装置之动作说明图。图7为本发明之 第 2实施例之物体搬运装置之要部之正面图。图8为 本发明 第3实施例之物体搬运装置之要部之正面图。图9 为本发 明第4实施例之物体搬运装置之要部之正面图。图 10为本 发明第5实施例之物体搬运装置之含部分断面之正 面图。 图11为本发明第6实施例之物体搬运装置之含部分 断面之 正面图。图12为本发明第7实施例之物体搬运装置 之含部 分断面之正面图。图13为图12中部分G之放大图。 图14乃 示图1-13所示各实施例之物体搬运装置,其部分变 形例 之侧面图。图15乃示物体搬运装置多数台并列之 状态,含 部分断面之正面图。图16乃示本发明物体浮扬装 置之要部 及施行有关该装置之测定之测定装置之概略之正 面图。图 17为供图16所示测定装置测定之供试体之斜视图,t1 =0. 49mm;d1=96.84mm。图18为供图16所示测定装置测定之供 试体之斜视图,L=90mm;W=65mm。图19为供图16所示测定 装置测定之供试体之斜视图,C;四个贯通孔);C;深度 ;;;。图20为供图16所示测定装置测定之供试体之斜 视 图,E=附属另件;C;C四个贯通孔。图21为供图16所示 测 定装置测定之供试体之斜视图,C;深度;四个贯通孔 ; ;贯通孔;;t2=10.0mm;t3=19.7mm。图22为供图16所示 测定装置测定之供试体之斜视图,E=附属另件;C;C四 个 贯通孔;;。图23为供图16所示测定装置测定之供试 体之 斜视图,E=附属另件;C;C四个贯通孔;;深度;;。图 24乃示由图16之测定装置所得之测定结果之图。图 25乃示 由图16之测定装置所得之测定结果之图。图26为由 图1- 13所示各实施例之物体搬运装置搬运之矽晶片及 搭载该矽 晶片之载体之斜视图。图27乃示习用物体浮扬装 置之概略 |
