| 摘要 |
Die Erfindung bezieht sich auf ein Meßsystem zur Abtastung der Oberfläche eines Meßobjektes (7) mittels eines flächig abtastenden Distanzsensors (1). Der Sensor (1) und das Meßobjekt (7) werden relativ zueinander bewegt. Die Ausdehnung (2) der Abtastfläche des Sensors (1) in Bewegungsrichtung (10) ist größer gewählt als die kleinste Ausdehnung (8) der Struktur (9), die noch erfaßt werden soll. Bei diesem Größenverhältnis wird die Struktur (9) nicht mehr in voller Größe wiedergegeben wird. Um aus dieser nicht mehr korrekten Information trotzdem eine Aussage über die Ausdehnung (8) zu erhalten, wird der Anteil des Ausgangssignales des Sensors (1), der durch Struktur (9) auf der Oberfläche des Meßobjektes entsteht, über dem Weg der Bewegung integriert. <IMAGE>
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