衍射型光束列阵波前校正器

摘要

本实用新型提供了一种衍射型光束列阵波前校正器。它通过计算机设计单元透镜的位相结构，经多次光刻和离子束刻蚀制作多位相级菲涅尔透镜列阵器件，配以精密的安装调节机构，可作为激光二极管列阵输出的波前校正器。衍射特征和制作方法决定了本实用新型的集光效率高，波前校正精确，且结构紧凑，安装调校方便。

主权项

1、一种衍射型光束列阵波前校正器，包括位相型菲涅尔透镜列阵器件和配置的安装调节机构，其特征在于：a.所说的位相型菲涅尔透镜列阵器件的最细线宽为0.5微米；最大列阵为200×200元；b.所说的位相型菲涅尔透镜列阵器件为多阶位相结构，位相量化级次为二阶，或四阶，或八阶，或十六阶；c.所说的位相型菲涅尔透镜列阵器件的单元为方形，或矩形、六角形；单元线度为0.05-1.5毫米；d.所说的位相型菲涅尔透镜列阵器件的基片为石英，或硅，或碲镉汞等半导体材料制成。