发明名称 Ion analyzer.
摘要
申请公布号 EP0362813(B1) 申请公布日期 1994.09.21
申请号 EP19890118390 申请日期 1989.10.04
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 KATO, YOSHIAKI
分类号 G01N27/62;G01N30/72;H01J49/04;H01J49/10;(IPC1-7):G01N30/72 主分类号 G01N27/62
代理机构 代理人
主权项
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