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发明名称
Wafer transfer system.
摘要
申请公布号
EP0244202(B1)
申请公布日期
1994.09.21
申请号
EP19870303748
申请日期
1987.04.28
申请人
VARIAN ASSOCIATES, INC.
发明人
HERTEL, RICHARD J.;DELFORGE, ADRIAN D.;MEARS, ERIC L.;MACINTOSH, EDWARD D.;JENNINGS, ROBERT E.;BARGAVA, AKHIL;BARTULA, WILLIAM H.
分类号
H01L21/00;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
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