| 发明名称 |
PRODUCTION OF SILICON BASED POWDERY MATERIAL |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06263425(A) |
申请公布日期 |
1994.09.20 |
| 申请号 |
JP19930078863 |
申请日期 |
1993.03.12 |
| 申请人 |
SHIN ETSU CHEM CO LTD |
发明人 |
MATSUMURA KAZUYUKI;YAMATANI MASAAKI |
| 分类号 |
C01B33/18;C01B33/16;(IPC1-7):C01B33/18 |
主分类号 |
C01B33/18 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
