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发明名称 ION PLATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06264225(A) 申请公布日期 1994.09.20
申请号 JP19930052647 申请日期 1993.03.12
申请人 ULVAC JAPAN LTD;KAWASAKI STEEL CORP 发明人 TAKAHASHI NATSUKI;HIRAIWA HIDEYUKI;IGUCHI MASAO
分类号 C23C14/32;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
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