发明名称 |
THICKNESS MEASUREMENT METHOD USING COFOCAL POINT SCANNING SYSTEM LASER MICROSCOPE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06265317(A) |
申请公布日期 |
1994.09.20 |
申请号 |
JP19930076098 |
申请日期 |
1993.03.10 |
申请人 |
ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD |
发明人 |
IWASAKI YUKIHIRO |
分类号 |
G01B11/06;(IPC1-7):G01B11/06 |
主分类号 |
G01B11/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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