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经营范围
发明名称
DRY ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH06264268(A)
申请公布日期
1994.09.20
申请号
JP19930056018
申请日期
1993.03.16
申请人
SHIBAURA ENG WORKS CO LTD
发明人
MUTO MAKOTO
分类号
C23F4/00;(IPC1-7):C23F4/00
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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