| 发明名称 |
PLASMA TREATING METHOD AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06264245(A) |
申请公布日期 |
1994.09.20 |
| 申请号 |
JP19930052797 |
申请日期 |
1993.03.15 |
| 申请人 |
JAPAN STEEL WORKS LTD:THE |
发明人 |
SAWAI YOSHIKI;KANEDA YASUMASA;SHIKAUCHI TOKUYUKI |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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