| 发明名称 |
APPARATUS FOR PRODUCING HIGH-PURITY COMPOSITE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06264228(A) |
申请公布日期 |
1994.09.20 |
| 申请号 |
JP19930080105 |
申请日期 |
1993.03.15 |
| 申请人 |
SUMITOMO METAL MINING CO LTD |
发明人 |
ISHIKAWA TOSHIAKI |
| 分类号 |
C23C14/00;C23C14/22;C23C14/32;(IPC1-7):C23C14/32 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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