| 发明名称 |
ALCU ALLOY METALLIC FILM AND ITS FORMATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06264242(A) |
申请公布日期 |
1994.09.20 |
| 申请号 |
JP19930055994 |
申请日期 |
1993.03.16 |
| 申请人 |
KAWASAKI STEEL CORP |
发明人 |
NAKANO TADASHI;KATAGIRI TOMOHARU;KONDO HIDEKAZU;YAMAMOTO HIROSHI;OOTA TOMOHIRO |
| 分类号 |
C23C16/18;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):C23C16/18;H01L21/320 |
主分类号 |
C23C16/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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