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发明名称
SUPPORT STRUCTURE OF EQUIPMENT FOR VACUUM
摘要
申请公布号
JPH06264959(A)
申请公布日期
1994.09.20
申请号
JP19930052605
申请日期
1993.03.12
申请人
CANON INC
发明人
SAITO SHUICHIRO
分类号
F16F15/02;G05D3/00;H02K7/00;(IPC1-7):F16F15/02
主分类号
F16F15/02
代理机构
代理人
主权项
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