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发明名称 PLASMA TREATMENT OF SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH06264246(A) 申请公布日期 1994.09.20
申请号 JP19930076231 申请日期 1993.03.09
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 YAMAGUCHI TORU
分类号 C23C14/34;C23C14/54;C23C16/50;C23C16/511;H05H1/46;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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