发明名称 STRUCTURE AND MANUFACTURE OF IIL
摘要
申请公布号 JPH06260602(A) 申请公布日期 1994.09.16
申请号 JP19910072256 申请日期 1991.03.12
申请人 UTAKA MASATOSHI 发明人 UTAKA MASATOSHI;SUNAYAMA TATSUO
分类号 H01L27/082;H01L21/331;H01L21/8226;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L27/082 主分类号 H01L27/082
代理机构 代理人
主权项
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