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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH06260530(A) 申请公布日期 1994.09.16
申请号 JP19930047743 申请日期 1993.03.09
申请人 HITACHI LTD 发明人 TANAKA HIDEKI;YAMADA MUNEHIRO
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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