| 发明名称 |
METHOD FOR INSPECTING STAMPER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06259817(A) |
申请公布日期 |
1994.09.16 |
| 申请号 |
JP19930067431 |
申请日期 |
1993.03.04 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
YASHIMA MASATAKA;YUASA TOSHIYA;EGUCHI GAKUO;SUGATA HIROYUKI |
| 分类号 |
G01M11/00;G11B7/26;(IPC1-7):G11B7/26 |
主分类号 |
G01M11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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