发明名称 THIN-FILM THERMOCOUPLE ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH06258149(A) 申请公布日期 1994.09.16
申请号 JP19910164584 申请日期 1991.07.04
申请人 ULVAC JAPAN LTD;FUJI INPARUSU KK 发明人 YAMADA KAZUKUNI;MARUYAMA KEISHO;MORITA TADASHI;INAGAWA KONOSUKE
分类号 G01K7/02;(IPC1-7):G01K7/02 主分类号 G01K7/02
代理机构 代理人
主权项
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