发明名称 SCANNING INTERATOMIC FORCE MICROSCOPE USING CONDUCTIVE CANTILEVER
摘要
申请公布号 JPH06258069(A) 申请公布日期 1994.09.16
申请号 JP19930045286 申请日期 1993.03.05
申请人 JEOL LTD 发明人 KITAMURA SHINICHI
分类号 G01B7/34;G01B21/30;G01N37/00;G01Q30/06;G01Q60/04;G01Q60/10;G01Q60/40;H01J37/28;(IPC1-7):G01B21/30 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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