发明名称 ROTARY PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06260474(A) 申请公布日期 1994.09.16
申请号 JP19930044029 申请日期 1993.03.04
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON KYUSHU KK 发明人 YOKOMIZO KENJI;MIZUMOTO KAZUTAKA
分类号 F26B25/08;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 F26B25/08
代理机构 代理人
主权项
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