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经营范围
发明名称
ROTARY PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH06260474(A)
申请公布日期
1994.09.16
申请号
JP19930044029
申请日期
1993.03.04
申请人
TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON KYUSHU KK
发明人
YOKOMIZO KENJI;MIZUMOTO KAZUTAKA
分类号
F26B25/08;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
F26B25/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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