| 发明名称 |
INTERATOMIC FORCE MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06258067(A) |
申请公布日期 |
1994.09.16 |
| 申请号 |
JP19930044153 |
申请日期 |
1993.03.04 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
MATSUDA HIROSHI;MORIKAWA YUUKO;ITO KENJI |
| 分类号 |
G01B21/30;G01Q20/02;G01Q60/24;H01J37/28;(IPC1-7):G01B21/30 |
主分类号 |
G01B21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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