发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH06260485(A) 申请公布日期 1994.09.16
申请号 JP19930044935 申请日期 1993.03.05
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 II YOSHIKO
分类号 H01L21/312;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/90 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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