发明名称 MAGNETIC FORCE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH06258289(A) 申请公布日期 1994.09.16
申请号 JP19930047016 申请日期 1993.03.08
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 SHIKAKURA YOSHIAKI;YASUTAKE MASATOSHI;TOMITA EISUKE
分类号 G01N27/87;G01Q30/04;G01Q60/50;(IPC1-7):G01N27/87 主分类号 G01N27/87
代理机构 代理人
主权项
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