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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH06260515(A)
申请公布日期
1994.09.16
申请号
JP19930048228
申请日期
1993.03.09
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
OTSUKI TETSUYA
分类号
H01L21/52;H01L21/60;H01L23/28;(IPC1-7):H01L21/52
主分类号
H01L21/52
代理机构
代理人
主权项
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