| 发明名称 |
WATERDROP REMOVING DEVICE FOR FOREIGN MATTER INSPECTION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06258254(A) |
申请公布日期 |
1994.09.16 |
| 申请号 |
JP19930071033 |
申请日期 |
1993.03.05 |
| 申请人 |
SHIBUYA KOGYO CO LTD;NEC CORP |
发明人 |
NISHINO YUKINOBU;ONAKA SHUJI |
| 分类号 |
G01N21/15;G01N21/90;(IPC1-7):G01N21/90 |
主分类号 |
G01N21/15 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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