发明名称 |
EVALUATION OF QUALITY OF OXIDE FILM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06260544(A) |
申请公布日期 |
1994.09.16 |
申请号 |
JP19930043737 |
申请日期 |
1993.03.04 |
申请人 |
KAWASAKI STEEL CORP |
发明人 |
OKIMOTO NOBUYUKI;KOBAYASHI SHUNICHI |
分类号 |
H01L21/316;H01L21/66;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/66;H01L29/784 |
主分类号 |
H01L21/316 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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