发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06260495(A) 申请公布日期 1994.09.16
申请号 JP19930041323 申请日期 1993.03.02
申请人 NKK CORP 发明人 TAKAHASHI TAKAO;YOSHIMATSU MASAHIRO;KAKIHARA SEIKI;DAIMATSU MASAHIKO
分类号 H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/784 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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