发明名称 METHOD OF MANUFACTURING FIELD EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH06260511(A) 申请公布日期 1994.09.16
申请号 JP19930045462 申请日期 1993.03.05
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 OKITSU YOSHIATSU
分类号 H01L29/812;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/338;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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