| 发明名称 |
DRY ETCHING MULTILAYER FILM AND ITS DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06260413(A) |
申请公布日期 |
1994.09.16 |
| 申请号 |
JP19930047675 |
申请日期 |
1993.03.09 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SAKUTA HIROKI;WAKUI TAKAYUKI;TAKAHATA MASARU;KONISHI NOBUTAKE |
| 分类号 |
G02F1/1343;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/027;G02F1/134 |
主分类号 |
G02F1/1343 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
