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发明名称 GRIND FLAW DETECTING OPTICAL SYSTEM FOR DISK
摘要
申请公布号 JPH06258245(A) 申请公布日期 1994.09.16
申请号 JP19930069386 申请日期 1993.03.04
申请人 HITACHI ELECTRON ENG CO LTD 发明人 KOIZUMI MITSUYOSHI;AIKO KENJI;YAMAMOTO HOZUMI;ASANO MAKIO;NAKADAI TSUTOMU
分类号 G01N21/88;G01N21/95;G11B5/84;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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