| 发明名称 |
OPTICAL AXIS ADJUSTING METHOD FOR POSITIONAL SHIFT MEASURING OPTICAL SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06258055(A) |
申请公布日期 |
1994.09.16 |
| 申请号 |
JP19930067470 |
申请日期 |
1993.03.03 |
| 申请人 |
HITACHI ELECTRON ENG CO LTD |
发明人 |
SUZUKI TAKAHIKO;NAKADA MASAHIKO |
| 分类号 |
G01B11/26;G02B7/00;G02B27/62;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/26 |
主分类号 |
G01B11/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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