| 发明名称 |
MANUFACTURE OF WIRING STRUCTURE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06260446(A) |
申请公布日期 |
1994.09.16 |
| 申请号 |
JP19930070957 |
申请日期 |
1993.03.05 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
SUMI HIROBUMI;MAEDA KEIICHI;SUGANO YUKIYASU;KOYAMA KAZUHIDE;TAGUCHI MITSURU;HOSHINO KAZUHIRO |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
