发明名称 GROWTH OF SEMICONDUCTOR CRYSTAL AND MANUFACTURE OF MOS TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH06260416(A) 申请公布日期 1994.09.16
申请号 JP19930070709 申请日期 1993.03.08
申请人 SONY CORP 发明人 TSUKAMOTO HIRONORI
分类号 H01L21/20;H01L21/205;H01L21/265;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/20;H01L29/784 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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