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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer elektrolumineszenten Dünnschichtvorrichtung und Apparat für ihre Herstellung.
摘要
申请公布号 DE69103338(D1) 申请公布日期 1994.09.15
申请号 DE19916003338 申请日期 1991.05.30
申请人 SHARP K.K., OSAKA, JP 发明人 SHIMOYAMA, HIROYUKI, NARA-SHI, NARA-KEN, JP;NAKAMURA, NORIAKI, NARA-SHI, NARA-KEN, JP;ISAKA, KINICHI, YAMATOKORIYAMA-SHI, NARA-KEN, JP;INOHARA, AKIO, ASAHI-KU, OSAKA, JP;KISHISHITA, HIROSHI, NARA-SHI, NARA-KEN, JP
分类号 C23C14/06;C23C14/08;C23C14/30;C23C14/54;H01L21/203;H05B33/10;(IPC1-7):H05B33/10 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
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