发明名称 DEVICE FOR INDEXING MAGAZINE COMPARTMENTS AND WAFER-SHAPED OBJECTS IN THE COMPARTMENTS
摘要 <p>Bei einer Einrichtung zur Indexierung von Magazinfächern eines Magazins und darin enthaltenen scheibenförmigen Objekten besteht die Aufgabe, einen genauen Zugriff einer Entnahme- und Beschickungsvorrichtung in jede beliebige und vorherbestimmbare Ebene des Magazins, unabhängig von Abmessungstoleranzen zu gewährleisten. Gemäß der Erfindung wird durch ein Meßstrahlenbündel (10) eines aus Sender (7) und Empfänger (8) bestehenden optoelektronischen Sensors neben der Lage der scheibenförmigen Objekten (13) auch die Lage der Magazinfächer (12) relativ zu einer Bezugsebene (E-E) erfaßt, die konstruktiv mit einer Handhabungsebene (H-H) zur Entnahme und Beschickung in fester Beziehung steht. Das Magazin (11) ist mittels einer Magazinaufnahme (2) durch einen Magazinlift meßbar in der Höhe zur Entnahme und Beschickung verstellbar. Die Erfindung ist bei der Herstellung integrierter Schaltkreise, insbesondere zur Handhabung scheibenförmiger Objekte anwendbar.</p>
申请公布号 WO1994020979(A1) 申请公布日期 1994.09.15
申请号 EP1994000620 申请日期 1994.03.03
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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