发明名称 HOLDER OF SEMICONDUCTOR PLATES FLUID TREATMENT BY CENTRIFUGATION
摘要
申请公布号 RU2019889(C1) 申请公布日期 1994.09.15
申请号 SU19914953714 申请日期 1991.06.28
申请人 VORONEZHSKIJ OPYTNYJ ZAVOD MIKROELEKTRONIKI "RIF" 发明人 VALENTINOV MARK M;NEDOSPASOV VLADIMIR G;NESTEROV ANATOLIJ I
分类号 H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/312 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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