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发明名称 METHOD OF ION IMPLANTATION
摘要
申请公布号 RU1565288(C) 申请公布日期 1994.09.15
申请号 SU19884432847 申请日期 1988.05.30
申请人 NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT YADERNOJ FIZIKI PRI TOMSKOM POLITEKHNICHESKOM INSTITUTE IM.S.M.KIROVA 发明人 ARBUZOV N.M.;DEKTYAREV S.V.;ISAEV G.P.;RYABCHIKOV A.I.
分类号 H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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