| 摘要 |
<p>Bekannte Meßelemente zur Bestimmung der Masse eines strömenden Mediums besitzen ein Substrat, auf welchem einzelne Widerstande in Form von Schichten aufgebracht sind. Zur thermischen Isolation der einzelnen Widerstände werden einseitig Trennschlitze aus dem Substrat ausgenommen, wobei auf einzelnen Fingern die Widerstände vorgesehen sind. Die relativ langen Trennschlitze mindern jedoch die statische und insbesondere die dynamische Festigkeit erheblich, so daß entstehende Risse oftmals zum Bruch der Finger führen. Das erfindungsgemäße Meßelement besitzt Innenschlitze (50; 51), welche das Substrat (15) durchdringen. Die Innenschlitze (50; 51) verlaufen ausgehend von einem Schlitzanfang (46) zu einem Schlitzende (47) innerhalb des Substrats (15). Dabei ist die Festigkeit des Substrats (15) kaum gemindert, wobei zusätzlich eine effiziente thermische Isolation der einzelnen Widerstände (RK; RS) gegeneinander und gegenüber einem einseitigen Befestigungsbereich (25) des Substrats (15) erfolgt. Das erfindungsgemäße Meßelement ist zur Bestimmung der Masse eines strömenden Mediums, insbesondere der Ansaugluft von Brennkraftmaschinen vorgesehen.</p> |
