| 发明名称 |
Beleuchtungseinrichtung für ein optisches System mit einem Reticle-Markierungssystem |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE9409744(U1) |
申请公布日期 |
1994.09.15 |
| 申请号 |
DE19940009744U |
申请日期 |
1994.06.17 |
| 申请人 |
FA. CARL ZEISS, 89520 HEIDENHEIM, DE |
发明人 |
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| 分类号 |
G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20;G02B19/00 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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